工作原理：真空泵基本上可以分為氣體捕集泵和氣體傳輸泵兩種類型。常見的真空泵有往復(fù)式真空泵、水環(huán)真空泵、旋片真空泵和低溫泵等。其中，往復(fù)式真空泵是利用泵腔內(nèi)活塞做往復(fù)式運(yùn)動，將氣體吸入、壓縮并排出；水環(huán)真空泵是利用葉輪旋轉(zhuǎn)時水形成的封閉圓環(huán)，使葉輪輪轂與水環(huán)之間形成月牙形空間，通過空間容積變化實(shí)現(xiàn)抽氣；旋片真空泵則是通過轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片，使旋片與泵壁之間的腔室容積變化來抽氣；低溫泵是利用低溫表面捕集氣體。

發(fā)展歷程：真空泵最早是 1654 年由奧托?馮?居里克發(fā)明的，后來波義耳和胡克進(jìn)行了大量的優(yōu)化設(shè)計。1682 年，波義耳提出了雙缸泵，1705 年豪克斯比制造出了進(jìn)一步改進(jìn)的雙缸泵。19 世紀(jì)末，弗勒斯引入了氣缸油泵。1912 年，蓋德發(fā)明了分子泵，1915 年，蓋德利用汞蒸汽射流攜帶的氣體分子來實(shí)現(xiàn)高真空，這些蒸汽流泵隨后得到了大規(guī)模的發(fā)展。

主要分類：按照真空度可分為低真空泵（壓強(qiáng)大于 1.33Pa）、中真空泵（壓強(qiáng)在 10?2-1.33Pa）、高真空泵（壓強(qiáng)在 10??-10?2Pa）及超高真空泵（壓強(qiáng)小于 10??Pa）。

應(yīng)用領(lǐng)域：真空泵廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。例如在冶金行業(yè)中用于真空冶煉；在化工行業(yè)中用于真空蒸餾、真空干燥等；在食品行業(yè)中用于食品包裝、真空冷凍等；在電子鍍膜行業(yè)中用于提供高真空環(huán)境以保證鍍膜質(zhì)量。